什么是电子气体电子气体有哪些

人气：158 ℃/2024-01-29 14:22:03

电子气体是工业名词，半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺，高纯气体主要用作稀释气和运载气，电子气体是特种气体的一个重要分支，电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级。

电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料。